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제품소개

엑티브 제진대

RSA Series

주요특징

  • 공진 문제를 제거한 능동형 제진대 시스템
  • 별도의 에어 장치가 필요 없어 간편한 설치와 이동
  • 저주파 영역의 진동 차단 능력 매우 우수

주요 사양※ 주문사양 제작 가능

모델 RSA-0405 RSA-0506 RSA-0607 RSA-0708
사이즈(mm) 396 x 496 x 110 496 x 596 x 110 596 x 696 x 110 396 x 496 x 110
무게 (kg) 23 37 65 85
적재하중 (kg) Max. 60 Max. 150 Max. 200 Max. 300
상판 종류 알루미늄 (기본) / H-6 Optical Board (옵션)
제어 주파수 (Hz) 0.5 ~ 1,000
제어 자유도 3축 6자유도 제어 (Full Active System)
용도 탁상형 능동형 제진 시스템 고하중의 나노 계측기용 능동형 제진 시스템
Isolation Performance
-1 Hz 공진주파수 없음
2 Hz -10dB (60% 제진)
5 Hz -30dB (95% 제진)
10 Hz -35~-40dB (99% 제진)

적용 분야

  • 디지털 현미경, 레이져 현미경, 간섭계 탁상형, 비접촉 3차원 측정기
  • 탁상형 SEM, AFM, STM, XRF, Probe Station, 박막형 두께 측정기
  • Cell Injection, Cell Manipulation, Mass Spectrometer
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